白光干涉檢測系統

　　■產品簡介CR-100V白光干涉檢測系統（白光干涉儀）可以非接觸檢測表面微結構形貌，以及相關的截面以及粗糙度參數。精度高，不會對被測物造成損壞。主要應用于高端制造行業，例如：光電子材料與器件、材料科學表面分析，MEMS微器件、LED芯片，光學測量、光學加工、精密機械加工，高等學校光學技術及物理光學實驗等。■產品特點1、非接觸檢測2、新型白光干涉物鏡，工作距離可達17.7mm3、可測試最低反射率0.5%的樣品4、高分辨率彩色CCD系統5、白光干涉軟件操作簡潔，全中文界面，很容易掌握操作。■技術規格一、白光干涉儀參數1、光學設計：無限遠相移白光干涉系統2、觀察方式：連接電腦，視頻顯示3、光學參數放大倍數光學系統數值孔徑N.A測量范圍光學分辨率工作距離5X（選購）無限遠白光干涉0.120.5x0.55um23.6mm10X無限遠白光干涉0.250.25x0.252.2um17.7mm4、工作臺：圓盤360°旋轉，直徑150mm，帶傾斜調整功能，X軸行程：76mm，Y軸行程：50mm5、調焦：行程50mm，手動粗微調，微調格值0.002mm6、光源：LED白光光源，亮度手動可調，使用壽命不低于10000小時。中心波長：580nm7、、電源：AC100--240V50-60Hz8、儀器重量：20kg二、圖像顯示：圖像傳感器:1/2.5"彩色300萬CMOS；分辨率：2048x1536；像素點尺寸：2.2μmx2.2um；幀率：8fps全分辨率；數據接口:USB3.0.三、自動圖像采集測量系統1、納米驅動器：最大位移：80um；分辨率：5nm閉環控制；重復定位精度：0.1nm；線性度：0.2nm%F.S.2、自動圖像采集：軟件是圖像采集以及納米定位功能集成化控制的軟件，可以根據設定，驅動納米驅動器做納米級定位控制，同時對不同位置的干涉條紋進行采集；同時可設定圖像的曝光，像素，增益等參數。定位控制有開環閉環工能可供選擇。3、白光干涉分析軟件：基于Matlab使用，操作簡單，可以檢測臺階類樣品的臺階高度，臺階最大高度不大于70um；可以檢測到Ra不大于0.2um的表面粗糙度。可以截取到被檢測樣品的任何位置的橫切或者縱切面輪廓。檢測結果可以直接生成報告。直接可以測量的數據有，被選取位置的橫向以及縱向的粗糙度XRa，YRa；Sa，RMS，PV,以及視場區域內最大和最小的數據。四、聯想品牌計算機：Win764位操作系統/I7四核CPU/8G內存/獨立顯卡/23寸顯示器■儀器成套性1、白光干涉儀一臺2、白光干涉物鏡10X一只3、多功能工作臺一套4、專用數據采集系統一套5、PZT控制器及自動采集系統一套6、白光干涉測量軟件一套5、聯想品牌計算機一套6、產品合格證、保修卡及使用說明書一份

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　　■產品簡介CR-100V白光干涉檢測系統（白光干涉儀）可以非接觸檢測表面微結構形貌，以及相關的截面以及粗糙度參數。精度高，不會對被測物造成損壞。主要應用于高端制造行業，例如：光電子材料與器件、材料科學表面分析，MEMS微器件、LED芯片，光學測量、光學加工、精密機械加工，高等學校光學技術及物理光學實驗等。■產品特點1.非接觸檢測2.新型白光干涉物鏡，工作距離可達17.7mm3.可測試最低反射率0.5%的樣品4.高分辨率彩色CCD系統■技術規格1、光學設計：無限遠相移白光干涉系統2、觀察方式：連接電腦，視頻顯示3、光學參數放大倍數光學系統數值孔徑N.A測量范圍光學分辨率工作距離5X（選購）無限遠白光干涉0.120.5x0.55um23.6mm10X無限遠白光干涉0.250.25x0.252.2um17.7mm4、工作臺：圓盤360°旋轉，直徑150mm，帶傾斜調整功能方形工作臺，X軸行程：76mm，Y軸行程：50mm5、調焦：行程50mm，手動粗微調，微調格值0.002mm6、圖像采集：圖像傳感器:1/2.5"彩色300萬CMOS；分辨率：2048x1536；像素點尺寸：2.2μmx2.2um；幀率：8fps全分辨率；數據接口:USB3.0.7、光源：LED白光光源，亮度手動可調，使用壽命不低于10000小時。中心波長：580nm8、電源：AC100--240V50-60Hz9、儀器重量：20kg■儀器成套性1、白光干涉儀一臺2、白光干涉物鏡10X一只3、方、園工作臺一套4、專用數據采集系統一套5、產品合格證、保修卡及使用說明書一份

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